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Filmetrics F20 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x是一款高精度、多功能的測(cè)量設(shè)備，能夠快速測(cè)定薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、反射率和透過(guò)率等特性。其非接觸式測(cè)量方式適合各種脆弱或敏感材料，具備納米級(jí)分辨率，測(cè)量范圍廣（1nm-3mm）。該儀器適用于多種應(yīng)用場(chǎng)景，包括半導(dǎo)體、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。F20膜厚儀可在數(shù)秒內(nèi)提供準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果，支持單層及多層薄膜分析，為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供可靠支持。

型號(hào)：F20-UV/F20-NIR/F20-EXR

更新日期：2025-04-25

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借助F54-XYT-300薄膜厚度測(cè)量?jī)x的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的不受限制的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。

型號(hào)：F54-XYT-300

更新日期：2024-07-24

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借助F54-XY-200薄膜厚度測(cè)量?jī)x光譜反射系統(tǒng)，可以輕松地測(cè)量尺寸達(dá)200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供厚度測(cè)量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。

型號(hào)：F54-XY-200

更新日期：2024-07-24

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-Filmetrics光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x：F32的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3U rack-mount底盤，加上附加的分光計(jì)，可達(dá)到四個(gè)不同的位置（EXR和UVX版本多兩個(gè)位置）。F32軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。Filmetrics還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

型號(hào)：F32

更新日期：2024-07-24

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-Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

型號(hào)：F60

更新日期：2023-06-05

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-Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x-F54系列的產(chǎn)品能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米 可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無(wú)數(shù)量限制之測(cè)量點(diǎn).僅需具備基本電腦技能的任何人可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方

型號(hào)：F54

更新日期：2023-07-24

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-Filmetrics光學(xué)薄膜厚度測(cè)量?jī)x：依靠F50的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，確保能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。

型號(hào)：F50

更新日期：2023-06-05

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Filmetrics F40-EXR 搭配 SS-Microscope-EXR-1系統(tǒng) -Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x的精密光譜測(cè)量系統(tǒng)讓用戶簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)，通過(guò)對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。當(dāng)測(cè)量需要在待測(cè)樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行，或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時(shí)，F(xiàn)40是不錯(cuò)的選擇。

型號(hào)：F40

更新日期：2023-06-05

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